重庆绿色智能技能研讨院机器人技能与体系中心研讨开发了一种根据压敏地道机制的高密度柔性触觉传感器阵列，相关效果发表于《先进功用资料》上。

　　近年来，柔性触觉传感技能在医疗健康、智能机器人和物联网范畴具有极端严重的使用远景。在临床确诊中，脉息波信号作为重要的医学参阅目标，监测其动态改变进程可供给血压平衡、血管老化、器官健康和睡觉质量等丰厚的健康情况信息。而跟着现代医学的前进，对更全面的脉息波信号（包含周期、脉宽、脉息率和脉息波形状）的需求益发火急，脉息波的三维动态重构被认为是最佳的解决方案。

　　该研讨团队经过掩模辅佐等离子体增强化学气相堆积（PECVD）办法，在微金字塔结构的硅衬底上堆积了共形石墨烯纳米墙（GNWs）图画阵列，并将其用作压力灵敏电极，体现为高灵敏度（222.36 kPa-1）和宽压力规模（1 MPa）。

　　阵列器材具有高分辩才能，即高空间分辩率（64 sensors/cm2）、时刻分辩率（呼应时刻2 ms）和压力分辩率（1/1000）。更重要的是，HfO?隧穿层能有用按捺噪声电流，信噪比为36.32 dB。高分辩柔性触觉阵列集成于机器人灵活手，能轻松完成脉息波的3D描摹高质量复原。

　　这项作业不只展现了柔性高分辩率触觉传感器阵列在脉息波三维动态重构中的超卓体现，还为未来智能医疗确诊的开展供给了技能上的支撑。