【48812】研讨初次制作出亚微米厚度的柔性压力传感器

来源:嵌入式指纹    发布时间:2024-06-18 07:11:51

  柔性压力传感器是得到重视最多的一类柔性传感器,在生物医学、脑机工程、智能制作等很多范畴得到了使用。与李明教授等团队协作,别出心裁地提出了一种纳米工程战略,初次制作出了亚微米厚度(0.85μm)的柔性压力传感器。

  柔性压力传感器一般由上下两层柔性电极层和中心的功用软资料层组成,外界压力会导致功用软资料层发生紧缩变形,然后引起传感器输出信号的改动。而这种以功用软资料层紧缩变形为主导的传感机理,要求电极层具有相对较大的抗弯刚度,电极层厚度一般要比功用软资料层大1~2个数量级。因而,现有的柔性压力传感器厚度只能在百微米乃至毫米量级,严重影响了传感器的轻质性、变形性和共形性。

  团队经过纳米工程战略,将柔性压力传感器的传感机理,由功用软资料层的紧缩变形为主导,转变为柔性电极层的曲折变形为主导,从根本上解除了关于传感器厚度的约束。而且,因为超薄的柔性电极层具有极强的变形才能,使得传感器具有优异才能的检测功能。传感器的单位面积分量只要2.8 g/m2,相当于一般工作打印纸的1/29,可接受曲率半径小至8.8μm的面外超大曲折变形,还可以与皮肤外表完成彻底共性贴合。别的,传感器的灵敏度为92.11 kPa-1,检出限为0.8 Pa,均处于现在揭露报导的最高水平。

  纳米工程战略可以成数量级地减小传感器的厚度,然后突破性提高传感器的轻质性、变形性和共形性,一起还可以使得传感器具有超高的检测功能,为柔性压力传感器的规划和制作供给了一种全新的思路。